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国内300mmIC生产线自动物料搬运系统研发成功
2015年03月02日
由沈阳新松机器人自动化股份有限公司承担的“300mmIC生产线自动物料搬运系统研发与应用”项目在沈阳通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”实施管理办公室组织的验收,标志着国内首套应用于3...
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