2025年10月31日
TE2025年10月30日
罗克韦尔2025年10月24日
采埃孚2025年10月24日
兆易创新2025年10月24日
欣旺达2025年10月27日
魏德米勒
2025年10月22日
倍福
2025年10月16日
罗克韦尔
2025年10月16日
明珞装备
2025年10月11日
EMAG
2025年10月31日
海克斯康
2025年10月24日
Melexis
2025年10月24日
倍加福
2025年10月23日
科尔摩根
2025年10月23日
海康机器人
应用介绍
【行业】SEMI
【设备】涂胶显影
【用途】通过机械手在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、烘烤、显影、坚膜等工艺
应用场景
对晶圆加工的热盘进行多温区同步控温。
解决课题
■ 客户设备处在洁净室内，柜内空间有限，需要节省空间。
■ 为了保证半导体晶圆的品质(热盘温度不均可能导致晶圆变形等不良），需要热盘整体高速同步升温，热盘各个区域温度保持一致。
价值提案
核心产品：温度控制单元 NX-TC
■ 每台单元支持8Ch控制,仅30mm宽度，大大节省面积。同时搭配小型连接器端子台XW2K，进一步节省空间。
■ 通过温度均一FB实现高速设定且可保存多种配方，实现针对多种对象的均匀加热的自动补偿算法及温度均一控制技术。各分区控温精度达到了±0.1℃，温度均一性达到了R=0.27。
NX系列高性能温控单元 NX-HTC
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